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第3134章 全球SPIE微光刻會議(1 / 1)

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在趙長安看來,要說這些世界一流的企業裡麵,沒有一點明白人,那是根本就不可能的事情,而是這些明白人根本就沒有足夠的話語權。

更重要的是ny,ananic,aiwa這些企業在個人便攜式音樂播放器市場,尤其是中高端市場,以及形成了世界性的壟斷地位,手握著大量的技術專利實體工廠,以及多年以來持續性的方向研究和數以億美元計數的投資資金。

假如選擇進入3市場,就等於一夜之間他們大量的工廠,數以萬計的員工,以及積累了幾十年的大量專利,幾乎全部被清零。

這種等於壯士斷腕的事情,基本上正常人都很難輕易的做到。

隻有到了未來,隨著3製式在世界音樂播放器市場形成不可阻擋的趨勢和洪流,這些老大帝國的企業才會不得不痛苦的在現實麵前低頭。

這種情況用在目前新一代光刻機的研發上麵也是如此,現在世界光刻機巨頭是nikon和canon,都依然在豪賭步進式光刻機。

而新進的造機新勢力asl,更是在老美的牽頭下,發誓要在新一代的光刻機領域,打破nikon和canon的技術和市場壟斷,讓歐美人也擁有世界最高科技前沿的光刻機企業。

目前nikon和canon,在157n深紫外激光波(duv)步進式光刻機的研發上麵,已經投入了幾十億美元,雖然處於世界領先地位,不過157n的光會被現在所用的193n鏡片吸收,穿透率低,無論是鏡片還是光刻膠都需要重新的研發配適,同時氧氣對157n光波吸收性很強,——這麼一大堆的問題,都是目前世界上這幾家(duv)步進式光刻機在研發下一代光刻裡麵遇到的難題需要客服。

而且即使能夠實現良品率的量產,157n的duv也隻能把解析度提高23,而對於之後的下一代光刻機,這似乎已經成了走到科技樹極限的死胡同。

隻不過因為前麵天量的投資,使得nikon和canon明知道157n的duv很有可能已經做到了這一方向的製程極限,然而那句話‘超前一步是天才,超前幾步是瘋子’的箴言,他們顯然都很信奉,卻依然在拚命的豪賭。

原因很簡單,隻有這麼做他們才能依然保持著行業壟斷,同時收回前期投入的幾十億美元的資金。

這個情況就像現在的個人便攜式音樂播放器市場,他們不是不明白新技術的優勢和代表著產品的未來方向。

而是不願意新技術現在就在市場上蠶食他們的份額,更不願意一切重來的推倒爐灶。

而且即使在研發157n的duv光刻機的時候,這兩家公司也在多電子束,離子流技術,甚至浸沒式光刻技術光刻技術,等等研發領域悄悄的組建了研究機構,並且大量的提前申請布局專利壁壘。

就比如在三年前的99年3月16日,nikon公司就向專利局提交了浸沒式光刻技術專利申請,專利名稱是“rojection exosure thod and syste”。該ct國際公開日是99年9月30日,國際公開號:wo9949504。

可以說是相當的雞賊。

包括和asl合作的麻省理工學院(it)林肯實驗室,也在157nduv上努力的給asl助力。

不過他們研究的方向有彆於nikon和canon在純氮氣中進行157n光波雕刻,而是選擇了離子水(純化水)狀態下的157n浸沒實驗。

這個實驗大致和nikon的浸沒式光刻技術專利差不多,都是研究在純淨水狀態下157nduv的雕刻性能。

就在幾天前的全球sie微光刻會議上,it做出研發報告157n浸沒實驗的結果。

“在去離子水(純化水)狀態下的浸沒實驗,157nduv依然有著在純氮環境下的諸多問題無法解決。然而對於193n的曝光是足夠透明的,在193n浸沒的情況下157n問題常見的普遍困難都不存在,幾乎等同於現今處於乾式介質中193n步進式光刻機效果。”

it的這份報告,讓現場與會的全球微影領域的頂尖大拿們紛紛失望不已,也就是在這個報告出來了以後,這幾天世界微光刻領域對浸沒式光刻技術紛紛發表了類似於‘至少現今技術還不成熟’的觀點。

這個觀點,有著這些微光刻領域專家們的真實的想法,更有著nikon和canon為了能繼續保持在這個領域的權威和壟斷,以及已經砸進去幾十億美元的遊說和新聞引導。

在這個會議上,林博士也參加了這場會議,會議的主持方要求他發言‘浸潤式微影技術’。

“由於na已經大於09,並且隨著na的進一步增加而回報遞減,浸沒式光刻可能是額外節點的關鍵。浸沒式光刻的關鍵是具有在光學波長中具有足夠的透射性,並且對透鏡和抗蝕劑表麵是惰性的。開始研究浸沒流體是相對便宜的。一旦確定了流體,就必須解決許多問題;即,抗蝕劑的脫氣,曝光或掃描過程中流體折射率的不均勻、流體的摩擦導致的掃描速度減慢,以及潮濕環境的混亂。——”

這時候趙長安手裡麵拿的一份文件,就是在這次全球sie微光刻會議上,各個專家級權威的發言。

其中他看了林博士的發言的時間最長,對於彆的專家的發言,基本上都是快速的瀏覽。

對於趙長安前一世這個會議上林博士的發言,趙長安沒有看到過,因為那個時候他怎麼可能對這種枯燥的技術發言感興趣。

而現在他則是翻來覆去的看這篇很短的發言,看了半天,感覺他好像啥都沒有說。

其實在這個會議上,真正最具備含金量的在趙長安看來,是it研發報告裡麵提到的那句‘在193n浸沒的情況下157n問題常見的普遍困難都不存在,幾乎等同於現今處於乾式介質中193n步進式光刻機效果。’

這句話裡麵暗含著一個重大的,如同窗戶紙一樣,卻直到03年7月才開始被seatech(國半導體製造技術聯盟,成員包括國防部、能源部、國家實驗室、國家科學委員會、國家標準及技術院、it,得州大學,asl,——)捅破。

就是既然193n在浸沒式液體之中既然依然是那麼的穩定,為什麼一定要使用難題很多的157n作為浸沒式光源,為什麼就不能依然用193n。

而現在所有人都這麼認為,既然193n在乾式介質就已經很穩定,為什麼要脫了褲子放屁,要把它放在液態流體之中多此一舉?

這裡麵唯一所欠缺的一個幾乎這些技術人員都知道的常識要素,沒有被他們考慮進去,就是液體和乾式介質之間,不同的折射率。

實際上在趙長安的前一世,林博士在自傳中說到,他在不久前的sie微光刻,發表了很具有重量級的發言。

“我在研討會發表用水配合193納米,能比乾式的157納米多增進一世代,而且比後者容易開發。結果全場轟動。我演講後,所有交談的時間大家都在討論這個題目。”

實際上,似乎真的沒有這個事實,因為他的發言人家留有錄音,這個可真是做不得假。

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